1920年，“机器人”一词的第一次出现是在捷克科幻作家恰配克的《罗索姆的万能机器人》中，原文作“Robota”，后来成为西文中通行的“Robot”。
1927年，第一部有机器人剧情的电影是德国导演弗里茨·朗（FritzLang，1890年12月5日－1976年8月2日）拍摄的无声电影《大都会》。
电影《大都会》里的机器人
1959年，美国的英格伯格和德沃尔设计制造出世界上第一台工业机器人。自此，机器人的历史才真正开始。
1961年，美国Unimation公司制成了世界上第一台往复式工业机器人。
1968年，美国斯坦福研究所公布他们研发成功的机器人Shakey，是世界上第一台智能机器人。
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世界上第一台智能机器人Shakey
1969年，日本早稻田大学加藤一郎实验室研发出世界上第一台以双脚走路的机器人。
1973年，世界上最大的机器人贸易展览会——世界机器人博览会（IREX），第一次是在日本东京举行，之后每二年举行一次。
2000年，我国独立研制的第一台具有人类外形、能模拟人类基本动作的类人型机器人在长沙国防科技大学问世。
我国独立研制的第一台类人型机器人
2001年，美国麻省理工学院研发出了世界上第一个有模拟感情的机器人。
2008年，世界上第一例机器人切除脑瘤手术成功。施行手术的是卡尔加里大学医学院研制的“神经臂”。
